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事業紹介

半導体製造/検査装置の開発、設計、製造、販売
  • プラズマ CVD 装置
  • 常圧 CVD 装置
  • 全自動ウエハプローバ
  • メモリーテスター
  • LCD & ウエハ自動搬送装置
  • マスク処理装置
  • マスク保管庫(温湿度制御付)
  • SOG & ポリイミド塗布装置
  • メモリーテスターのDUT ボード、プログラム製作
  • 装置間通信用 GEM Box
  • WatlowR社製、半導体製造装置用各種ヒータの販売および温度制御モジュール製作
  • Abrasive Technology社製CMP用Pad Conditioner
  • Automated Visual Inspection社製欠陥測定システム
  • Luxtron社製光学式温度計
  • End Point Controller(終点検出器)システム
技術サービス
☆各種省力機器の設計製造
☆自社製機器および輸入半導体製造/検査装置の据付、保守サービス
☆技術指導コンサルタント業務、既存設備の改造、リハービッシュ(再生)
☆Luxtron(Xinix)社エンドポイントコントローラ(End Point Controller)及びモノクロメーター  (Monocrometer)修理・校正
中古半導体製造装置の販売、仲介、保守サービス、立ち上げ、改造
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