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車載関連

超音波ボンディング装置

【特徴】

・強力な超音波振動による金属同士のダイレクト接合

・Cu To Cuなどの配線に最適

・IPM、IGBTモジュールの端子接合に最適

・接合対象ワークに合わせた治具製作

・フルオート/セミオート、またはインライン化も対応

 

製品画像については、添付のPDFをご参照下さい。

プローブカード用クリーニングシート

プローブカード用クリーニングシート

【特徴】

・摩耗が少ないクリーニングが可能

・カンチレバー、バーチカルタイプ、MEMSタイプ、その他カードの種類を選ばず、様々なタイプの針先のクリーニングに対応

・高温使用に対応したタイプもラインアップ

・ウエハー、研磨板への貼付け可能

 

プローブカードは半導体のウエハー検査工程に使用されております。しかし、プローブカードは一定期間使用した後に探針部分のクリーニングを行わなければ、その機能を持続させることができません。近年の半導体の性能向上と共にプローブカードも多ピン化、狭ピッチ化の一途を辿っており、高価なプローブカードの使用期間を伸ばす鍵を握るクリーニングシートの重要性は高まるばかりです。当社は、プローブカードのクリーニングに最適なシートを供給し、多くの半導体関連メーカーに使用して頂いている実績を持っています。新製品【ASEタイプ】をはじめ、幅広いラインアップで様々なタイプの針先のクリーニングに対応いたします。

 

【シート構造】

MIPOXのクリーニングシートは、各ベース材に研磨砥粒を有した構造となっております。詳細につきましては、お問い合わせください。

 

【ラインアップ】

 

TYPE

粒度

シート色

特徴

適応推奨

形状イメージ

PET TYPE

WA4000

イエロー

・針先端研磨用

・高クリーニング性

・フラット形状研磨に対応

・強固な付着物の除去に適した構造

・カンチレバー

 

WA6000

ホワイト

WA8000

ライトピンク

GC6000

グレー

PF3 TYPE

GC4000

グレー

・低ダメージ高効率なクリーニングが可能

・フラット及びラウンド形状研磨に対応

・耐熱130℃対応

・カンチレバー

・MEMS型プローブ

 

GC6000

グレー

GC8000

ブラウン

SWE TYPE

WA4000

イエロー

・針先端低ダメージ研磨用

・ラウンド及びクラウン形状研磨に対応

・カンチレバー

・バーチカルプローブ

・クラウンタイプ

 

WA6000

グリーン

WA8000

ピンク

WA10000

オレンジ

SI10000

オレンジ

ASE TYPE

-

グレー

・ダメージレスクリーニング用

・立体形状針先クリーニングに対応

・高耐熱(-30℃~160℃)対応

・ウェハーへの貼付け対応

・MEMS型プローブ

・バーチカルプローブ

・クラウンタイプ

 

BC3 TYPE

GC4000

グレー

・針先端低ダメージ研磨用

・フラット形状研磨に対応 (合金系カンチレバーなど)

・合金系カンチレバー

 

GC6000

グレー

GC8000

グレー

 

 

【サイズ】

 

シートタイプ(mm)
ディスクタイプ(mm)φ
probe_sheet_R
136×149
probe_disk(+ase)_R
50
142×155 152
149×222 194
150×150 194-OF
152×152 196
228×280 200
203
290

*その他のサイズについてはお問い合わせ下さい。

 

 お問い合わせ先:兼松PWS/中村

 

 

Mipox社 ウエハ端面研磨装置

Mipox株式会社

ウエハ端面研磨装置

Siウエハメーカーを中心に、140台以上の装置納入実績

・様々なエッジ形状への加工が可能

・BGテープを張り付けたままでの加工が可能

・端面部の不要膜除去が可能

・短時間での鏡面加工が可能

・純粋のみを使用(スラリー不要)

 

 

TIPS社 ウエハープローブカード

1.高電圧測定プローブカード

特徴:

・沿面放電を除去
・シンプル構造
・安全
・エアーのみの消費により低コスト
・高生産性
・カスタム仕様対応製品

 

 

 測定対象デバイス

・パワーデバイス(IGBT、SiC、Diode、MOS FET、その他)

 

2.MEMSプレッシャーセンサー用プローブカード

 

特徴:

・マルチ測定可能
・高精度ウェハレベルセンサーキャリブレーション
・大気圧測定可
・実績のあるコンタクト技術
・カスタム仕様対応製品

 

 

3.磁気角度センサー用プローブカード

特徴:

・NS極ローテ―ティング構造
・角度精度 0.1度
・磁場強度 50mT
・マルチ測定をサポート
・カスタム仕様対応製品

非接触式・ウエハー厚さ自動測定装置

 *個々の画像をクリックして下さい

空圧センサーの採用により非接触測定を可能にしました。

・光を使わない為、測定物の色や組成に影響されません。
・非接触によりワークを傷付けません。
・厚み測定結果の分析が可能。
・シリコン部分の厚みを測定可能 
・ウェハー厚みも測定可能。
・ウェハーの反りも測定可能 
・オリフラ合わせユニットを搭載
・1スキャンでオリフラ合わせを実行

 

 

 

 

 

 

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