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サブシステム

Lumasense社蛍光温度計

製品特徴

・蛍光で温度測定。

・電磁環境、高周波環境での温度測定が可能。

・簡単に組み込みが可能。

・使用用途に合わせたカスタムプローブ。

 

FOT Lab Kit

仕様

・チャンネル数:4

・測定温度範囲:-100℃~330℃

・測定精度(Calibrated):±0.5℃ within 50℃ of calibration temperature

              ±0.2℃ within 20℃ of calibration temperature

              ±0.1℃ @calibration temperature

・測定速度:Max 4Hz (1チャンネル)

・インターフェース:RS232C

・主なアプリケーション:マイクロ波治療器、高周波治療器

 

m822 Semiconductor OEM Board

仕様

・チャンネル数:1 or 2

・測定温度範囲:-100℃~330℃

・測定精度 (Calibrated):±0.5℃ within 50℃ of Calibration Point

             ±0.2℃ within 20℃ of Calibration Point

・測定速度:10Hz / 5Hz

・インターフェース:RS232C

・主なアプリケーション:エッチング装置、高電圧装置、MRI、高周波治療器

 

Lumasense社HP(http://www.lumasenseinc.com/EN/

 

非接触型超精密エアーサーボ測長ユニット

〇特徴

・空気圧を利用して㎛単位の測定が可能

・非接触でありながら、エアーサーボ機構とリニアスケールの組み合わせで広範囲かつ高精度に平坦度、

 厚み、高さの測定が可能

 

〇測定被対象物

・光学式では測定が難しい透明体の水晶、サファイヤ、ガラス、透明フィルム、透明膜

・色が変化するディスクや軟質金属類

・変形しやすいゴムや樹脂

・対象物に水分や油分、ゴミなどが付着しているもの

 

詳細情報については、ページ右上の商品PDFをご参照下さい。

非接触式・ウエハー厚さ自動測定装置

 *個々の画像をクリックして下さい

空圧センサーの採用により非接触測定を可能にしました。

・光を使わない為、測定物の色や組成に影響されません。
・非接触によりワークを傷付けません。
・厚み測定結果の分析が可能。
・シリコン部分の厚みを測定可能 
・ウェハー厚みも測定可能。
・ウェハーの反りも測定可能 
・オリフラ合わせユニットを搭載
・1スキャンでオリフラ合わせを実行

 

 

 

 

 

 

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