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製品紹介

半導体・液晶・電子部品製造検査装置

SUSS MicroTec フォトリソグラフィー・ウェハボンディング

AMICRA 高精度ダイ・アタッチメントシステム

超音波ボンディング装置

SEMICS社 OPUS3 Wafer Prober

Vision Semicon社 プラズマ洗浄装置

Mipox社 ウエハ端面研磨装置

TIPS社 ウエハープローブカード

非接触式・ウエハー厚さ自動測定装置

空圧センサーの採用により非接触測定を可能にしました。

ウエハ/マスク保管庫

ウエハのプロセス処理間でのウエハの一時保管またはマスクの保管にはパーテクル 対策のためクリーン度を保つ他、温湿度制御を考慮した保管庫(デシケータ)が 歩留り向上のために必須となっています。 PWS Japan製ウエハ/マスク保管庫が経済的な解決策を提供します。

LCD基板自動搬送装置 Traverser

PWS Japan製のLCD基板搬送装置 Traverserは各種プラズマエッチャー、 アッシャーおよび検査装置に接続利用され、LCD基板を各種装置へ自動で ロード/アンロード可能な装置です。各種AGV,MGVにインターフェースできます。

関連機器、部品

Lumasense社蛍光温度計

ISCテストソケット、ラバーコンタクト、プローブピン

非接触型超精密エアーサーボ測長ユニット

プローブカード用クリーニングシート

MPP社 ウェッジ・ツール、ディスペンサー、ノズル、コレット

ウェハテストアプリケーション環境をご提案

非接触式・ウエハー厚さ自動測定装置

空圧センサーの採用により非接触測定を可能にしました。

W/F研削ホイール ナノフィックス&ハイブリックス

img ウエハー用研削ホイール(ハイブリックス&ナノフィックス ホイール) 高脆材料のウエハーを高効率・高精度で研削する機能型研削ホイール

タッチパネルPC

機器組み込み型タッチパネルPCです。IP65対応完全防水型PC、医療用国際規格(EN60601)取得済PCなど製品ラインナップを揃えてご提供できます。低価格タッチパネルPCが118,000から!

フォトマスク欠陥測定システム(Automated Visual Inspection社製)

マスクショップやウエハーFABでフォトマスク欠陥を高精度に測定し、マスク品質改善、修正、プロセス管理が的確にできる欠陥測定システムです。レチクル検査装置、顕微鏡等のビデオソースからのイメージ画像を利用して高精度のCD測定、欠陥測定、OPC、Corner、コンタクト等の測定が可能で且つ、PSMへ適応できます。

設計・製造受託サービス

基板研磨・加工サービス

SPEL社 パッケージ組立委託・テスト

技術サービス

Luxtron(Xinix)社エンドポイントコントローラ(End Point Controller)及びモノクロメーター(Monochrometer)修理・校正

技術サポート

新着情報

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