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事業紹介
 
半導体製造/検査装置の開発、設計、製造、販売
  プラズマ CVD 装置
常圧 CVD 装置
全自動ウエハプローバ
メモリーテスター
LCD & ウエハ自動搬送装置
マスク処理装置
マスク保管庫(温湿度制御付)
SOG & ポリイミド塗布装置
メモリーテスターのDUT ボード、プログラム製作
装置間通信用 GEM Box
Watlow®社製、半導体製造装置用各種ヒータの販売および温度制御モジュール製作

Abrasive Technology社製CMP用Pad Conditioner
Automated Visual Inspection社製欠陥測定システム
Luxtron社製光学式温度計
End Point Controller(終点検出器)システム
   
技術サービス
 

Luxtron(Xinix)社エンドポイントコントローラ(End Point Controller)及びモノクロメーター(Monocrometer)修理・校正

   
自社製機器および輸入半導体製造/検査装置の据付、保守サービス、 技術指導、改造
   
中古半導体製造装置の販売、仲介、保守サービス、立ち上げ、改造
   
   
   
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